Bộ điều khiển và đồng hồ đo lưu lượng nhiệt kín bằng chất đàn hồi dòng Bộ điều khiển Brooks instrument SLA5853S2GAB2C2A1C5C1AA

Nâng cao và đơn giản hóa việc kiểm soát lưu lượng lớn của bạn.

Model SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

Hãy tưởng tượng chỉ chọn một nền tảng điều khiển lưu lượng lớn để xử lý mười bốn áp suất hoặc tốc độ dòng chảy khác nhau trong một quy trình. Tất cả đều đồng thời cung cấp đầu ra giống hệt nhau, cực kỳ chính xác và có thể lặp lại ở phía bên kia. Đó là sự đơn giản nâng cao mà bạn có được với bộ điều khiển và đồng hồ đo lưu lượng khối kỹ thuật số SLA5800 Series.

Sê-ri SLA5800 có độ chính xác cao, độ ổn định bằng 0 cao và độ lặp lại cao mà bạn mong đợi từ công ty dẫn đầu ngành về công nghệ đo và kiểm soát lưu lượng khối lượng. Được thiết kế với thiết kế ưu việt - và được sản xuất bằng hệ thống đo lường và kiểm tra tiên tiến - MFC kỹ thuật số SLA5800 cung cấp thông số kỹ thuật không trôi tốt hơn so với các sản phẩm cạnh tranh. SLA5800 đã được chứng minh là có thể tối đa hóa thời gian hoạt động sản xuất và giảm chi phí bảo trì cũng như thời gian ngừng hoạt động của máy. 

Loại sản phẩm

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

Sự khác biệt

Phạm vi lưu lượng và áp suất rộng

Sự ổn định lâu dài vượt trội

Độ chính xác cao

Hiệu suất

Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn quy mô)

0,003 - 2500 slpm

Sự chính xác

Thiết bị được chứng nhận 17025 (Bao gồm tuyến tính, loại trừ độ không đảm bảo đo của hệ thống hiệu chuẩn, theo SEMI E69)

±0,6% SP (20-100% FS)

±0,12% FS (<20% FS)

1100 slpm lên tới 2500 slpm: ±0,6% FS

 

Thiết bị tiêu chuẩn (bao gồm độ không đảm bảo từ các tiêu chuẩn tham chiếu

±0,9% SP (20-100% FS)

±0,18% FS (2-20% FS)

1100 slpm lên tới 2500 slpm: ±1,0% FS

Độ lặp lại

0,20% SP

tuyến tính

Bao gồm độ chính xác

Thời gian đáp ứng

0,003 - 100 spm: <1 giây

100 - 2500 slpm: <3 giây

Khả năng cấu hình nhiều loại khí và phạm vi

Tiêu chuẩn

Áp lực tối đa

0,003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Tùy chọn 4500 psi/310 bar trên thiết bị tối đa 50 slpm

Phạm vi kiểm soát

1-50 slpm: Tỷ lệ quay vòng 100: 1 cho FS

50-2500 lpm: Tỷ lệ quay vòng 50: 1 cho FS

Không ổn định

< 0,2% FS mỗi năm

Hệ số nhiệt độ dòng chảy

Không: <0,05% FS trên ^o C

Khoảng cách: <0,1% SP mỗi ^o C

Hệ số áp suất

0,03% mỗi psi (0-200 psi N ₂ )

Thái độ nhạy cảm

Độ lệch tối đa <0,2% FS so với độ chính xác được chỉ định sau khi điều chỉnh lại về 0

Bộ điều khiển Brooks instrument SLA5853S2GAB2C2A1C5C1AA-Đại lý Brooks Instrument tại Việt Nam